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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪多年来扮演了极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。
RenishawXL-80全新轻型激光干涉仪
【摘 要】
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在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪多年来扮演了极重要的角色。但是近年随着自动化位移系统性能大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2007年4期
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