电子回旋共振微波等离子体技术及应用

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【摘要】

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电子回旋共振微波等离子体技术（ECR－MP）在表面处理，等离子体刻蚀和薄膜制备，尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用，综述了ECR－MP的基本原理，反应装置，实验研究

【作者】

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【机构】

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中国工程物理研究院激光聚变研究中心

【出处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

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2002年4期

【关键词】

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电子回旋共振微波等离子体技术（ECR－MP）在表面处理，等离子体刻蚀和薄膜制备，尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用，综述了ECR－MP的基本原理，反应装置，实验研究，理论研究和应用情况的发展现状。同时分析了其今后可能的发展趋势。

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