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利用反射各向异性谱（RAS）和反射谱在线监测了AlxGa1-xAs样品的金属有机化合物汽相淀积（MOCVD）外延生长过程。通过在线监测得到的RAS和反射谱可以敏感地反映出AlxGa1-xAs外延层组份发生的变化,从而优化外延生长工艺。实验表明,反射谱中的振荡周期可以在线计算组份和生长速率,利用反射谱中的振荡的第一个最小值与Al组份的线性关系,可以确定渐变组份初始值。通过在线计算得到的生长速率和组份与扫描电镜（SEM）和高分辨X射线衍射（HRXRD）测试得到的结果基本吻合。