硅（001）衬底上生长的ZnO薄膜的AFM研究

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ilclean

【摘要】

：

对采用电子束反应蒸镀方法在低温下在硅(001)衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜(AFM)观察,分析研究不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响.在250

【作者】

：

章建隽杨爱龄

【机构】

：

浙江大学信息科学与电子工程系

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

ZNO薄膜原子力显微镜 AFM 电子束反应蒸镀氧化锌硅(001) 表面形貌结构特性 ZnO thin filmsatomic force microsc

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对采用电子束反应蒸镀方法在低温下在硅(001)衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜(AFM)观察,分析研究不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响.在250℃衬底温度下获得的ZnO薄膜,膜表面平整,结构致密,表面平均不平整度小于3nm,说明在该衬底温度下获得的ZnO薄膜是高透明度、高质量、高度取向的单晶薄膜.

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