C对多弧离子镀TiCN系超硬薄膜性能的影响

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就C对TiCN系膜层的硬度、耐磨性、与Fe基材料的摩擦系数和粘附倾向的影响进行了试验研究。借助于SEM、AES、XRD、WDS等手段,对C在TiCN系膜层中的行为、作用进行了初步探讨。 The effect of C on the hardness, wear resistance, friction coefficient and adhesion tendency of Ti-based TiN film was studied. By means of SEM, AES, XRD, WDS and other means, the behavior and effect of C in TiCN film were discussed.
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