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针对当前加工误差分离方法无法分离相近尺度系统误差的缺点，提出了一种基于独立成分分析的加工误差分离方法。建立了各误差源所导致的系统误差和总的系统误差之间的传递模型；根据盲源信号分离相关理论，建立了基于负熵固定点算法的加工误差分离模型，实现了相近尺度的系统加工误差分离，并利用主成分分析法给出了误差源数量确定的方法。以某陀螺仪的某加工面加工误差分离为例对所提出的方法进行了验证，结果表明所提出的误差分离方法可有效实现相近尺度的加工误差分离。