【摘 要】
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本文在不降低La2O3/Cu合金导电性的情况下,采用离子注入手段提高其强度及耐磨性。采用金属蒸气真空弧离子源(MEVVA)将Zr离子注入铜合金进行表面改性,注入能量为80keV,注入剂量分别
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本文在不降低La2O3/Cu合金导电性的情况下,采用离子注入手段提高其强度及耐磨性。采用金属蒸气真空弧离子源(MEVVA)将Zr离子注入铜合金进行表面改性,注入能量为80keV,注入剂量分别为210×1017Zr+/cm2。利用X射线光电子能谱(XPS)分析离子注入层中各元素的浓度-深度分布以及各深度处Cu2p、Zr3d和O1s的化学态;使用透射电镜观察新相的微观结构;采用纳米硬度计测量Zr离子注入后铜合金表面硬度随深度的变化;利用物理测试系统进行电导率测试;使用摩擦试验机研究Zr离子注入前后铜合金材料的耐磨性;采用扫描电子显微镜(SEM)分析样品表面磨痕形貌。分析结果表明:锆离子注入铜合金后,在基体中形成了Zr2Cu、Cu2O和ZrO2等新相,其中Zr2Cu新相弥散分布在基体中,直径大约在10nm左右。随着注入深度的增加,ZrO2、Cu2O的含量逐渐减少;Zr2Cu的含量随着注入剂量的增加而增加,Zr2Cu含量最大的地方对应于离子注入层中锆含量最大处。当注入剂量达到1×1018Zr+/cm2时,在15nm深度处,Zr2Cu含量最大达到12.23%。锆离子注入后在基体中形成了Zr2Cu、ZrO2和Cu2O等强化相,导致基体硬度显著提升。注入剂量为1×1018Zr+/cm2样品的硬度达到4.51GPa,是基体的4.3倍。随离子注入剂量的增大,电导率呈现下降趋势,但是电导率最大降幅不超过8%。锆离子注入后硬度的提高是耐磨性提高的主要因素,且基体表层在低摩擦系数段的持续时间随注入剂量的增加而延长;磨损量随着载荷和滑动速度的增加而增加,且磨损量随注入剂量的增加而降低。
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