固体材料真空放气测量是评价和选用真空材料性能的重要技术指标,随着航空航天、半导体、高能物理等应用领域对超高真空的需求,世界各国致力于真空材料放气测量技术的研究;经过多半个世纪的发展,国内外诸多研究机构提出了多种材料放气率测量方法,所建立测量装置的测量下限不断延伸以满足近年来对较小放气率材料测量的需求,在许多应用中需要定量测量材料放气特性;固体材料在大气环境下溶解、吸附气体,而当材料置于真空环境下就因解溶、解析而放气。材料放气测试过程中有小放气率材料测量难度大、装置本底放气大、抑制材料放气等特点。因此,材料放气率测试方法和测试装置成为真空物理领域的热点和难点问题,被广大学者所关注。到目前为止,还没有一种通用的测试方法和技术适用于各种固体材料的放气率测试情况。本文主要从固体材料真空放气测量方法改进和材料放气特性研究的角度出发研究固体材料真空放气测量技术。主要完成工作如下:（1）从材料放气测量方法的测量范围和特点深度分析各种方法的原理及系统组成,对现有方法及装置进行概述,比较各个测量方法的优缺点,并对转换气路法进行改进,提出了新型材料放气测量方法。（2）利用新型基于转换气路法的材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银三种真空隔热容器常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。研究结果表明,在室温下三种材料放气率由小到大依次为钛合金钢、304不锈钢和银,但是随着温度的升高,钛合金钢的放气率显著增大,而304不锈钢和银的放气率则随温度升高先增大后减小,200℃的放气率大于室温和400℃的放气率。同时发现在真空除气工艺中,304不锈钢和银的烘烤温度设置400℃以下即可,而钛合金钢内部H₂分子含量较高,较难除去,除气工艺应高于400℃。（3）研究了红外焦平面封装集成设计中电铸冷屏材料镍基合金的放气特性,并利用四极质谱计检测并定性分析了不同粗糙度的镍基合金和镀镍黑化后镍基合金放出的气体成分。研究结果表明在真空放气测试试验中,可通过减小镍基合金粗糙度的方法将镍基合金的放气速率降低,采用化学黑化镀镍的方法将镍基合金材料表面进行化学黑化处理,通过黑化及镀膜抑制材料的放气。