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虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示，它在MEMS设计参数与器件运行之间建立了直接联系。虚拟运行的基础是器件动态模型。通常的建模方法包括归纳法和演绎法。为达到忠实再现MEMS器件运行状态的目的，实际测量数据是必不可少的。鉴于MEMS器件实际测量数据较难取得，本文利用有限元计算结果替代实测数据作为建模的实验基础。提出了基于有限元计算的归纳法建模和基于动力学方程的演绎法建模。本文根据不同器件的虚拟运行要求，分别以微泵和微悬臂梁为例，讨论两种动态模型建立的方法，并实现了虚拟运行。首先从有限元计算数据出发，采用归纳法建立微泵的动态模型；并基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行。对照实测的实验结果，验证其具有较高的精度。接下来，阐述了微悬臂梁振动问题基于动力学方程的演绎法建模方法。在此基础上实现了包含瞬态行为的微悬臂梁虚拟运行，并利用有限元计算的对应结果验证了其正确性。最终实现了在虚拟环境中改变MEMS设计参数，就能实时看到相应变化了的器件虚拟运行结果，从而可以考察器件的运动性能和进行优化设计，提高MEMS设计效率。