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干涉合成孔径雷达（InSAR）测量技术是合成孔径雷达（SAR）信号的相干处理，能够实现全天候、全天时、穿透一定植被的大范围地形三维测量，具有广泛的应用前景。本文主要着眼于高精度InSAR测量技术，针对后向投影（BP）算法的干涉模型，以及基于BP算法和曲面BP算法的InSAR处理方法进行了研究，所做具体工作及创新如下：（1）成像算法的保相性分析。首先从保相性角度分析了传统的RD和CS算法的干涉模型，分析了影响这两种算法相位精度的误差因素。然后将BP算法引入InSAR成像，建立了BP算法的干涉模型，并通过理论推导证明BP算法没有引入相位误差，具有更高的保相精度。接着从单点目标的成像聚焦效果和参考函数失配角度，验证了RD和CS算法的相位误差来源，而BP算法不受相位误差因素的影响。其次通过多点目标仿真成像，定量分析了三种成像算法的保相精度。最后通过面目标成像仿真实验，对比分析了三种成像算法的干涉相位质量。（2）BP成像配准去平地一体化方法。传统成像方法需要进行图像配准和去平地效应处理，本文提出了一种BP成像配准去平地一体化方法，该方法在BP成像的同时实现图像配准和去平地效应处理，简化了InSAR数据处理流程，降低了相位解缠处理难度。然后针对高程反演中的地形畸变问题，提出了一种校正方法，并通过仿真实验验证该校正方法的正确性。（3）基于曲面BP算法的InSAR处理方法。首先分析了传统InSAR处理方法存在的问题，包括相位信息损失问题和图像配准精度问题。针对上述问题，本文提出了曲面BP算法，并建立其干涉模型，将曲面BP算法应用于InSAR成像，可以减少相位信息损失，并在曲面BP成像的同时实现更高精度的图像配准。接着对基于曲面BP算法的InSAR处理方法中的相关问题进行了分析，包括图像配准精度、相位解缠难度和地形畸变校正三个方面，并通过仿真实验进行了验证。最后研究了如何利用多基线结构实现基于曲面BP算法的InSAR处理方法。从而建立了一整套基于曲面BP算法的InSAR处理方法和流程，提高了地形高程测量精度，为高精度InSAR处理提供了一种新的解决思路和技术途径。