紫外激光自出现以来,以其在材料加工中表现出来的热效应少等优点,成为微细加工方面的一个研究热点。研究各工艺参数对加工质量的影响、摸索参数选择规律具有很重要的意义。本文即采用理论分析与实验结合的方式予以研究。本文首先对紫外激光与材料的基本作用机理进行了介绍,对紫外激光加工材料时可能出现的各种消融原理和重要影响因素进行了分析,并论述了前人研究建立的数理模型,并分别对他们遇到的问题予以说明。针对紫外激光加工中的消融阈值的概念提出本文的理解,通过宏观和微观两个方面对其意义进行探索,建立紫外激光与材料作用过程的微观模型框架,并通过该模型分析预测工艺参数对加工质量的影响趋势。然后进行实验工作,分别对蓝宝石、工具钢、钛合金和铝基碳化硅复合材料进行了多组对比实验,分析工艺参数、环境条件对于加工的影响;根据摸索出的规律,结合理论分析,选取了较为合理的参数加工了一个25μm×25μm的方槽。最后,为了研究紫外激光加工参数的问题,本文建立一个工艺参数库系统,在Windows XP平台上使用office access 2007建立数据库后台,使用Visual Basic的ADODB接口与数据库进行连接。这些工作对紫外激光实验和应用将产生较大便利。