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PZT厚膜具有高压电性能和机电耦合系数,在高频超声传感器、微换能器、微变形镜等高性能微器件方面具有广阔的应用前景。利用电射流沉积技术(Electrohydrodynamic jet deposition, EJD)制备膜时,具有沉积速率高、膜结构可控性强等优点。本文配制了PZT悬浮液,利用电射流沉积技术制备了PZT厚膜,首先研究了电射流沉积参数、悬浮液混合条件对厚膜致密性的影响,并对PZT厚膜进行了溶胶的渗透；然后对电射流沉积的PZT厚膜进行了抛光处理,研究了厚膜表面粗糙度和厚度对PZT厚膜压电性质的影响；最后研究了柔性衬底的PZT厚膜沉积。首先,制备了PZT复合悬浮液,以硅片为衬底,电射流沉积了PZT厚膜,研究了电射流沉积高度、流量及悬浮液混合条件对厚膜致密性的影响,降低电射流沉积高度和流量有助于提高PZT厚膜致密性,利用球磨方法混合的PZT悬浮液,沉积的PZT厚膜致密性明显提高,制备了无裂纹的PZT厚膜。为了进一步提高厚膜的致密性,研究了PZT厚膜的溶胶渗透,溶胶渗透后的PZT厚膜致密性明显提高。然后,研究了电射流沉积PZT厚膜的机械抛光工艺,经过机械抛光处理,PZT厚膜的表面粗糙度Ra从422nm降低到23nnm。此外,分析了厚膜表面粗糙度和厚度对PZT厚膜压电性质的影响,降低表面粗糙度促进了PZT厚膜压电性质的提高,当PZT膜厚为10μm-60μm之间时,PZT膜压电性质随着膜厚的增加显著增大,当膜厚在60μm-80μm之间时,厚膜压电性质趋于平缓,当膜厚高于80μm时,其压电性质明显下降。在PZT膜厚为68μm时,压电常数d33为91pC/N。最后,在不锈钢和铁镍合金柔性衬底上沉积了PZT厚膜,采用双面均匀沉积PZT厚膜,解决了应力不均导致柔性衬底弯曲问题,获得了柔性衬底/PZT厚膜复合元件,并集成在压电式振动能量采集器和磁电换能式振动能量采集器中。