本文在虚拟切片三维无损测量装置的开发基础上,分析了测量装置控制系统的功能,同时针对此新型测量装置通过精确的微步长移动来划分微小虚拟切片的需求,提出了一种基于计算机与PLC控制器相结合、人机界面与伺服控制技术相结合的控制系统,并对系统进行硬件、软件设计,使计算机、PLC控制器、交流伺服系统及带有光栅尺的精密移动滑台组成混合闭环定位控制。通过对交流伺服系统与测力传感器读数的误差处理与补偿,使系统控制的微步长多次重复定位误差精度在±0.005mm内,为无损测量装置实现微小的虚拟切片划分提供了可靠、稳定的控制运动,同时也为课题项目提供有利的数据支持。　　此无损测量控制系统以VB编辑的人机控制软件与下位PLC控制器为核心,通过多界面的模块设计与底层数据库的应用,使系统软件具有:权限管理、系统实时监控,手动测试与自动测量控制,测力数据自动采集、处理与存储,系统故障报警、故障详情查询、及故障单报表生成等功能。　　根据PLC控制器、交流伺服单元与光栅所组成的混合闭环定位系统的功能特性,分析了伺服驱动主要参数对定位控制的影响,结合实际运行下的定位实验,提出了主要控制参数的调整;并通过对由测量装置各部分设备带来的系统误差、控制定位误差进行分析,然后提出了补偿与修正误差的方法。　　经过控制系统的整合调试、测量定位精度的校准,以及测量运行结果和实验数据的处理保存,证明此控制系统运行稳定、测量数据采集快速、有效,达到了课题所需求的设计。