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采用射频磁控溅射法制备不同厚度Ag层的ZnO/Ag/ZnO多层膜。研究了不同厚度Ag层对多层膜可见光增透和荧光强度的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外-可见分光光谱仪、光致发光(PL)光谱对多层膜ZnO/Ag/ZnO的形貌、结构和光学特性进行研究。此外,采用优化参数的ZnO/Ag/ZnO三明治结构作为种子层,与无Ag层的单层ZnO种子层作对比,采用水溶液法在不同的种子层上制备不同浓度的ZnO纳米棒阵列以及进行表面Ag纳米颗粒修饰。采用扫描电子显微