非旋转对称光学非球面(柱面)面形绝对检验技术研究

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非旋转对称光学非球面元件,如柱面元件等,具有独特的光学特性,在天文、强激光等先进光学系统中得到了广泛应用。但因其非旋转对称的特点,尚未有高精度的绝对检测方法。计算全息元件(Computer-Generated Hologram,CGH)可以产生任意形状的波前,可实现复杂光学元件的零位干涉检测,但系统误差及参考误差的存在限制了计算全息法的检测精度。为了进一步提高检测精度,本文在计算全息零位检测技术的基础上,以非旋转对称光学非球面中的特例——柱面元件为研究对象,研究了基于共轭差分干涉术的面形绝对检验技术
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