离子束抛光技术是一种超精密加工技术。其最关键的控制因素就是驻留时间和去除函数。因此本文对这两个参数进行了研究分析。首先,对离子束加工的原理进行了研究。对离子束入射角度与溅射产额,离子束入射能量与溅射产额的关系进行了分析,得到溅射产额随角度增大呈现先增大后减小趋势,74。左右溅射产额达到最大。而且,溅射产额随能量的增大而增大。其次,建立了去除函数数学模型。可以得到去除函数与溅射产额之间存在密切的联系。因此,我们得出要实现去除函数的多角度控制,必须建立起角度与溅射产额之间的关系。因此,我们基于BP神经网络对去除函数的关键参数进行运算,并对BP网络的参数进行了合理选取,运用训练好的网络对角度和溅射产额之间的对应进行推算。第三,采用CEH模型的线性方程组求解驻留时间时,发现这种方法可以完全克服边缘效应。但是,由于这种方法存在病态性,因此,采用了TSVD正则化求解法来弥补这个缺陷。并得到驻留时间、残差与截断参数κ的关系呈现“L”形曲线,而且κ的值取“L”形曲线拐点处的值的时候,是最合理的,得到的驻留时间和残差是比较好的。但是TSVD算法的缺点是对于大型矩阵的求解速度过慢。为了克服这个问题,我们采用迭代算法来解决大型矩阵的问题,但这种方法会出现边缘效应,因此,采用了边缘延拓的方法对参数进行优化以减小边缘效应。并得到了驻留时间与残差的类“L”加工预测曲线。通过这条曲线可以实现参数γ的优化,从而实现优化加工效果的目的。而且,我们也发现在曲线拐点出γ的值是较为合理的。