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超声电机具有结构简单、易于小型化、定位精度高以及无电磁干扰等特,在高精度的微型驱动场合得到了广泛的应用。本文提出将超声电机应用于动比例压力阀的先导级驱动,以提高电气压力阀的精度和稳定性,是压电驱技术在气动领域中的应用方向的新的探索。搭建了超声电机的测试系统,测试了超声电机的速度特性,从实验的角度超声电机的位置伺服控制特性进行了分析。实验结果表明,在额定的负载力22N)以内,超声电机具有十纳米级的定位精度,且具有很高的速度刚度。此基础上,提出了超声电机的位置伺服控制模型,为超声电机在气动压力阀