自从金属玻璃材料被发现以来,因为其独特的物理特性、化学特性、机械特性和防腐特性而引起了人们的广泛关注和极大的兴趣。与晶态合金材料相比,金属玻璃材料是一种具有短程有序而长程无序结构特点的非晶态材料,且各向同性、无晶格缺陷以及无尺寸效应等特点。在Al-Ni-Gd金属玻璃体系中,80at%以上的成分为Al元素,有很好的经济效益,且具有良好的玻璃形成能力。但是,近年来人们的研究重点都集中在如何制作块体金属玻璃材料方面,在金属玻璃薄膜的制备和性能研究领域存在很大的空白。本文在前人研究的基础上,对Al基金属玻璃薄膜进行了更深入的研究。首先,在已有的各种Al基金属玻璃体系中,寻找合适的Al-Ni-Gd合金成分体系;利用磁控溅射方法成功制备了沉积态为非晶态的Al基金属玻璃薄膜,并且摸索退火工艺,获得了晶态的Al基金属玻璃薄膜。同时,对Al基金属玻璃薄膜进行了晶体结构、表面形貌、热学特性以及光学和电学等特性的研究。在本文工作中,不同溅射Ar气压条件下制备的Al基金属玻璃薄膜在相同的退火条件下,结晶程度随着溅射Ar气压的增加而降低;同时,制备的非晶态Al基金属玻璃薄膜反射率要高于晶态薄膜的反射率,反射率对比度很高,晶态Al基金属玻璃薄膜的反射率也随着溅射Ar气压的增加而降低。但是,Al基金属玻璃薄膜的电阻率在晶态与非晶态之间差异不大。