该文第一章绪言部分介绍了MOCVD技术的发展现状和展望,以及镍膜的化学气相沉积现状和存在的问题,并阐述了课题的研究目的和意义.第二章重点介绍了实验装置的设计和改进,也简介了工艺原理和测控系统.实验结果表明:相对于立式反应室,使用卧式反应室不仅能够提高前驱体的利用效率,而且容易保证密封性,另外,在沉积过程中,沉积衬底(玻璃管)上出现温度梯度,因此在一个实验周期中可获得不同温度下沉积的薄膜.第三章是实验部分,重点介绍了影响沉积速率的各种因素、不同沉积衬底对薄膜质量的影响、最佳工艺参数的获取以及组织分析等,最后还简介了羰基铁的沉积特性.第四章结合有关薄膜生长理论对部分实验结果作了定性的分析.第五章对全文作了总结,提出了一些有意义的结论,同时也阐明了需进一步解决的问题.