大能量准分子激光器输出波长短、脉冲能量大，能满足很多材料加工的需要，被广泛应用于工业、科研领域，如，液晶显示器制造工艺中多晶硅激光退火、硅太阳能电池基板的表面刻蚀、集成电路工艺中超浅结退火、LED制备中的激光剥离技术等。大能量准分子激光器在实现大面积均匀辉光放电和大储能高压快脉冲放电激励方面难度较大，目前，国际上仅少数国家掌握了相关技术。　　本论文重点针对实用型大能量准分子激光器的两项关键技术-大面积均匀辉光放电技术、高压快脉冲激励技术进行研究，并运用这些关键技术研制出一台大能量KrF准分子激光器，并通过实验研究了大能量准分子激光器的输出特性，以及工作气体组分、气体压强和电极结构对激光输出能量的影响。　　论文回顾了准分子激光器的发展历史，介绍了准分子激光的基本特性及大能量准分子激光的主要应用，分析了大能量准分子激光器关键技术。通过对两项关键技术的研究，设计的大放电间距、宽放电区域的紧凑型Chang电极，结合电离效果强的双排错位安装的火花紫外预电离实现了大面积的辉光放电;设计的以氢闸流管为开关的LC反转倍压结合一级磁开关的激励回路，在放电电容上实现了峰值电压40kV，脉冲上升时间100ns的脉冲激励。实验中研究了工作气体组分对激光脉冲能量的影响，F2的最佳浓度是影响激光脉冲能量的一个重要因素，在一优化气体配比下实现了大于730mJ的脉冲能量输出，激光近场光斑尺寸30mm×14mm，最大全电效率2％。