电火花加工是超精密加工中的一种重要方法,其本质是电腐蚀。经过半个多世纪的发展,电火花加工技术已经成为现代制造技术领域中不可或缺的重要组成部分,在微电子工业、航空航天、医疗器械以及模具制造等许多领域内取得广泛的应用。随着微机电系统(MEMS)和现代电子电力技术的迅速发展,尤其是微细电极的在线制作技术成熟以后,使得电火花微细加工技术进入了实用化的阶段,越来越受到人们的重视。Ta-W合金是一种高强度、高熔点、高冲击阻抗的重金属材料,有很高的延展性,较好的机械加工性能和很强的高温抗腐蚀能力,在高科技领域有着重要的应用。首先,本文通过一系列工艺性试验,对Ta-W合金的电火花加工特性进行了初步的分析,主要研究了电参数和电极材料对加工速度和电极损耗的影响。并用两种不同直径的电极对1Cr18Ni9Ti进行加工,分析了电极直径对加工的影响。其次,通过对Ta-W合金和1Cr18Ni9Ti的对比加工试验,深入地研究了Ta-W合金的电火花加工性能,并从材料性质入手,分析了Ta-W合金的电火花加工的难点及其原因,采用适当的加工参数和合理的加工方法,加工出了孔径约58μm的2×2阵列孔。最后,基于电火花铣削原理成功地实现了Ta-W合金上微三维结构的微细电火花加工。加工出了宽43μm的直槽,宽约22μm的梁,边长约30μm的方台,并铣削出了HIT字形结构等一些简单的微三维结构。