压电致动器作为压电智能材料最重要的应用,近年来成为微电机领域的一个研究热点。在精密定位控制系统中,采用压电致动器作为其驱动控制部件,已经成为精密定位控制领域的技术发展趋势。本文主要针对压电致动器在二维精密定位平台中的应用作了一些相关的探讨,包括压屯致动器的基本理论、结构设计、性能测试、驱动控制以及应用方面的相关研究。主要研究内容和成果如下：　　 ⑴从压电效应原理和压电材料特性着手,介绍了压电致动器的基本理论。特别的对叠层型压电致动器的结构和性能特性进行了深入的探讨,通过一系列的实验来进行分析和研究,为其应用打下了基础。　　 ⑵基于叠层型压电致动器和正交放大的原理,设计了压电放大致动器,并采用有限元分析的方法对放大结构进行建模、分析和优化,研制了样机并对其性能进行了测试。同时对压电放大致动器的应用也做了一些有意义的探讨。　　 ⑶虚拟仪器技术是现代计算机系统和仪器系统相结合的产物,利用计算机的强大功能来实现和扩展传统仪器的功能,实现信号的采集、处理、保存、显示等功能。对压电驱动控制部分进行了相关研究,重点并详细论述了以虚拟仪器为主导的闭环控制系统。与传统仪器相比,虚拟仪器具有实现简单、高度的灵活性和可扩展性、性价比高、界面友好等优点。　　 ⑷研制了基于虚拟仪器技术的压电致动器的驱动和控制系统。使用NI公司的多功能数据采集卡PXI-6251和LabVIEW软件开发平台构建了压电致动器闭环控制系统。