压电陶瓷驱动已被广泛地应用在微电子、微机械、纳米科技等众多技术领域。纳米工作台是纳米测量仪器及加工机械的重要部件,而压电陶瓷驱动系统又是纳米工作台的重要部分,纳米工作台对压电陶瓷驱动定位精度要求很高,驱动电源的品质对驱动器的定位精度影响很大,因此高精度驱动电源的研制也受到日益广泛的重视。本学位论文选题来源于国家自然科学基金项目“纳米三坐标测量机关键技术的研究”,任务是为六自由度微动工作台中八个压电陶瓷驱动器提供高精度的并行驱动电源。目前市场上驱动电源有通道少(3通道以下)、纹波高、价格昂贵,难以集成等缺点,不能满足纳米测量的需要。本文研制了八通道微型化低纹波的压电陶瓷驱动电源。设计时采用集成器件取代分离器件;使用高精度数据采集卡来控制模拟输出信号;采取了若干措施,提高了电源的稳定性。实验结果表明,所研制的8通道并行驱动电源的输出电压范围为0-300V,纹波电压小于15mV,分辨率为6mV,位移分辨率为0.8nm,非线性误差小于0.1%,最大输出电流1A,电压时漂小于10mV/8h,频率响应2kHz以上,电源体积为长×宽×高(220mm*120mm*120mm),价格为市场上同通道驱动电源的1/3。因此所设计电源具有驱动能力强,稳定性好,体积小,实用性强,价格低廉等特点,满足纳米测量的要求。