光刻机的工件台是光刻机运动控制系统中的运动机构,本文的研究对象是工件台的控制,工件台是一个宏微复合结构的控制系统,其双工作台由宏动台与微动台构成,宏动台负责大行程运动,微动台负责高精度高响应运动,合理的选取了工件台控制方式与宏微控制策略后进行了实验仿真,结果达到了目标要求。首先介绍并分析了工件台整体结构,然后分析了宏动台和微动台的具体构成,分析了它们的特性与优缺点以及它们需要互补的地方,提出了工件台所要完成的运动轨迹与需要达到的控制精度。其次设计了位置环速度环电流环反馈的电机控制系统,并针对几种具体的宏微控制策略进行分析和仿真验证,包括微动跟随宏动策略,宏动跟随微动策略。并采取了宏动跟随微动策略进行随后的研究再次介绍了分数阶PID的发展与原理,随后在电机伺服反馈系统的位置环采用此控制器,对于相关参数的选取,选用了粒子群优化算法对参数仿真迭代更新,最终得到了一组比采用比PID控制动态性能更好的控制器。最后针对系统的微动台部分的干扰因素,为了减小干扰力的影响,采用线性扩张状态观测器,有效的抑制了扰动,取得了较为满意的效果。