高新技术企业R&D活动通常被看作是企业价值创造和竞争力提升的重要来源，也是科技创新的核心组成部分，其中R&D人员正是R&D活动的主体力量，是企业保持可持续发展和技术、质量创新的力量源泉。提高R&D人员的个人绩效从而提升R&D活动整体绩效是高新技术企业最关心的问题之一。为此，有必要建立一套公平的、提高R&D人员整体满意度的绩效评价体系。本文针对R&D人员特点以及对一线R&D人员的问卷调查分析展开研究，主要工作如下：1.设计高新技术企业R&D人员绩效评价指标体系；根据高新技术企业特点及R&D人员特质，采用因子分析方法确定R&D人员的绩效评价体系包括岗位胜任力因素、内部业绩因素、外部业绩因素、成长因素等四个方面，并用变异系数法确定各层次指标权重。2.建立基于集对分析的R&D人员绩效评价模型。采用集对分析的方法及360°评价方法，建立了基于SPA的R&D人员绩效评价模型，介绍了具体操作步骤，将定性结果定量化。并在实证分析中将评价模型具体实施。3.提出高新技术企业R&D人员绩效评价存在问题及对策；采用相依样本T检验的方法，将评价指标的重要性与实践性进行比较，发现存在差距及问题并提出相关对策。