【摘 要】
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金刚石线锯切割技术作为一种新兴的切割技术,具有效率高、节约原材料、绿色等优点,逐渐取代传统砂浆切割技术。酸性制绒工艺是针对砂浆切割多晶硅片的一种制绒技术,以其简单
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金刚石线锯切割技术作为一种新兴的切割技术,具有效率高、节约原材料、绿色等优点,逐渐取代传统砂浆切割技术。酸性制绒工艺是针对砂浆切割多晶硅片的一种制绒技术,以其简单的工艺,低廉的成本受到青睐。但是由于金刚石线锯切割工艺与砂浆切割工艺切割方式不同,导致金刚石线锯切割硅片很难通过常规酸性制绒获得高效率的太阳能电池片。目前有许多制绒技术:反应离子刻蚀技术、气相刻蚀技术、金属催化刻蚀技术等,这些工艺虽然可以使得太阳能电池片获得良好的光电转换效率,但由于其成本高这一重要因素,导致其很难被大范围应用。酸性制绒技术因其低成本、短流程的优点在硅片制绒这一领域的地位日益突出,且利用添加剂可以大大提高制绒效果。本文通过研究金刚石线锯切割多晶硅片的酸性制绒过程中添加剂带来的影响,得出了以下结论:(1)金刚石线锯切割多晶硅片表面切割条纹会对酸性制绒过程中多晶硅片表面形貌的演变造成较大的影响,制绒后硅片表面椭圆刻蚀坑沿着切割条纹方向分布;椭圆刻蚀坑在垂直于切割条纹方向的直径要大于平行于切割条纹方向,两者的比例在1:1-3:1。(2)冰乙酸作为制绒添加剂可以增加制绒面刻蚀坑的密集程度;亚硝酸钠作为添加剂会使制绒后硅片反射率升高;磷酸在高浓度区域缓蚀效果十分明显且可减小刻蚀孔径;聚乙二醇的缓蚀效果十分明显,能较大程度改变表面形貌;质量分数为1%的十二烷基苯磺酸作为添加剂可使硅片制绒反射率下降至18.82%。(3)加入浓度为1000ppmw的亚硝酸钠、100ppmw的聚乙二醇-聚乙烯醇和10ppmw的十二烷基苯磺酸时,获得形貌均匀的纳米级刻蚀坑绒面,反射率低至20.10%,相较于原始制绒硅片降低了47.50%。且该添加剂抑制了硅片的刻蚀使得制绒速度相较于无添加剂常规酸性制绒降低了23.42%,最终得到电池片的光电转换效率为18.52%。(4)同一个样品在垂直于切割条纹方向深宽比的值要大于平行于切割条纹方向的深宽比的值,二者的大小相差约24%;当入射光从垂直于切割条纹的方向以一定的入射角度入射时,其反射率要比平行于切割条纹方向大22-27%。且反射率的变化规律与深宽比的变化规律完全相反,随着深宽比的增高,反射率随之下降。(5)当改变银电极印刷的方向时,对于同一条件下获得的样品,银电极副栅线与切割条纹垂直时电池片的光电转换效率要比银电极副栅线与切割条纹平行时低0.6-0.8%。造成此种现象的原因是第一种印刷方式会导致银电极与电池片接触没有后者紧密。
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