在线式等离子体清洗是在低压下射频产生等离子体,粒子具有活性强、温度低和自由程较长的优点,比常压等离子清洗更适合处理高精密表面处理,加以在线的全自动模式,提高了工业生产中的效率,近年来引起了很多研究人员的关注。掌握在线等离子体设备的清洗原理和设备的研制,在此基础上进行放电特性和工艺的分析,并进行相关方面的实验研究具有重要的学术价值和实际意义。本文是在阅读大量相关资料和最新成果的基础上,结合在实践中的经验,阐述了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。课题研制了在线式等离子清洗设备,并通过在线等离子设备进行清洗实验,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化。就气体流量、射频功率、处理时间对清洗工艺的影响做出了分析,并与普通等离子清洗设备DQX—206清洗进行了比较。