随着高速计算机和大规模存储计算机的快速发展，高维数据的检测得到越来越多的重视，尤其体现在现代工业生产和服务过程中。本文基于多维的EWMA(exponentially weighted moving average)控制图，结合一个拟合优度检验，建立了一个新的可以用来进行Phase JJ多维数据检验的控制图，并给出一般情况下该控制图的控制线，该控制图可以用来实时进行在线数据的检测。本文提出的控制图在三种不同的情形下进行检验，分别检验其在无结构的情况下，在多层次结构的情况下，以及在线性结构的情况下该控制图的功效.在上述三种情况下，我们将本文提出的控制图与其他的控制图进行比较.并比较其相对平均指标RMI.比较发现本文提出的控制图有很明显的优势。最后，我们将该模型运用到实际的工业生产中用来监控半导体生产过程。