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近年来,大气压冷等离子体射流已经在材料表面处理、等离子体医学以及纳米科技等领域广泛应用。其显著优点是无需腔体和真空设备,无需狭窄的放电间隙,可以在开放的空间内产生非平衡态等离子体。双频(DF)大气压冷等离子体射流产生的非平衡等离子体具有较长的等离子体羽、低的气体温度、高的电子密度以及强的化学活性等优点。其作为一种高效的制备纳米颗粒的技术,可使材料具有更高的结晶性,具有一定的现实意义和应用价值。基于这样的优势,本文自行设计了双频驱动的大气压非平衡等离子体射流沉积系统。利用不同双频驱动组合(50 kHz