脉冲偏压辅助PECVD超憎水TiO<,2>薄膜及其湿润性的研究

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【摘要】

：

近年来,水的接触角为150°以上的超憎水性薄膜,因为在生活和工业方面具有非常显著的自清洁应用而引起了越来越多的关注。二氧化钛薄膜拥有光催化性能,在紫外光的照射下可以分解有机物。所以能够综合超憎水性和光催化性能的自清洁材料的研究引起了许多学者的兴趣。本文的研究目的就是希望用等离子体增强化学气相沉积的方法制备超憎水性二氧化钛薄膜。本课题用氧气为载气,四异丙基钛酸脂(TIPT)为单体,以等离子体增强化学

【作者】

：

刘伟

【机构】

：

东华大学

【发表日期】

：

2008年12期

【关键词】

：

超憎水性润湿性氧化钛薄膜等离子体化学气相沉积微纳米结构

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