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本文在全面总结了目前太阳能电池材料的研究现状和其未来发展趋势,系统研究了Si基薄膜材料各自特性的基础上,用超高真空磁控溅射仪制备了SiN/a-Si/poly-Si/NiTi多层结构薄膜,并用XRD、AFM、SEM、UV-VIS、台阶仪、划痕仪等分析手段研究了薄膜的相结构、微观组织特征、表面特征及其光性能和力学性能。首先,用溅射法在石英衬底上沉积NiTi过渡层,并探讨了衬底温度、溅射功率、溅射气压等主要工艺参数对Quartz/NiTi上沉积的Si薄膜的厚度、微观组织、相结构、光学及力学性能