环境振动是影响精密设备制造及测量精度的关键因素,而主动隔振是抑制环境振动的重要手段。为进一步提升振动抑制能力,本文从精密主动隔振系统动力学建模、振动控制方法、参数测量方法及控制器设计及其软件实现四个方面入手,研究了精密主动隔振系统振动抑制的关键技术。首先,本文进行了精密主动隔振系统的动力学建模;分析了负载质量对称分布(质心位于形心)和非对称分布(质心偏离形心)对动力学方程的影响;利用模态理论实现了动力学方程的模态解耦;提出了基于模态解耦控制方法的地基振动前馈控制和负载振动反馈控制的混合控制策略。其次,针对精密主动隔振系统动力学方程中未确定参数,提出了负载重心、质量和惯量的测量方法,从而确定了质量矩阵、刚度矩阵与阻尼矩阵的参数;创建了基于Simulink的精密主动隔振系统仿真模型,并且分别对负载重心、质量和惯量的测量进行了仿真实验,仿真实验结果表明了该测量方法的有效性。接着,设计了精密主动隔振系统的控制器,其中包括位置控制器(位置环)、基于模型的地基振动前馈控制器和负载振动反馈控制器(速度环);同时提出了控制器参数的整定方法;此外,根据精密主动隔振系统的定位需求和振动抑制需求开发了控制软件。最后,搭建了精密主动隔振系统实验平台,并进行了定位实验与六自由度振动抑制实验。实验结果表明,位置控制精度满足精密设备工作需求;六自由度主动振动抑制能够明显降低精密主动隔振系统振动传递率,使得负载平台振动等级满足精密设备的环境振动要求。