【摘 要】
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类金刚石薄膜(DLC)因为其结构的特点和性质的卓越,吸引了众多研究者的目光,成为凝聚态物理、材料科学与工程等领域的重要研究和开发对象.脉冲激光沉积(PLD)方法是制备DLC薄膜
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类金刚石薄膜(DLC)因为其结构的特点和性质的卓越,吸引了众多研究者的目光,成为凝聚态物理、材料科学与工程等领域的重要研究和开发对象.脉冲激光沉积(PLD)方法是制备DLC薄膜一种很有潜力的手段.然而,它在生长机理、优化生长参数等方面存在的问题值得进一步研究.该文系统地研究了激光波长、功率密度、H<,2>气氛、N<,2>气氛、石墨靶的处理等因素对PLD方法制备DLC薄膜质量的影响.并从分表生长的角度探讨了PLD沉积的机理.
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