电涡流传感器是一种非接触式的位移传感器，具有频率响应好，测量分辨率高，无运动部件，性能可靠等优点。常应用于位移测量、无损探伤、厚度测量等方面。但也存在不能在高压环境下(如液压系统)工作和对温度敏感等不足。 论文在综合国内外文献资料地基础上，分析了电涡流传感器的发展现状、工作原理以及在工业中的应用，并对位移传感器进行了分类与性能比较，论文针对常用的电涡流传感器不耐高压的不足，提出了用金属承压罩来承压的办法，即在线圈外面增加金属壳来承受高压，使之达到能耐31.5Mpa的高压。针对温度敏感的不足，提出感应线圈和无感线圈共绕，并组成全桥回路的方式，解决了电涡流传感器的温度补偿问题，使之温度变化对该传感器的输出影响小于1％。论文还对耐高压电涡流传感器进行了理论分析，建立了数学模型，利用有限元方法，通过仿真评价了其结构参数对性能的影响，确定了主要结构参数。论文还针对耐高压电涡流传感器的特性设计了实验系统，试验结果与理论分析结果基本吻合。得到不同的激励频率下，不同的金属靠近传感器时的输出变化曲线和温度特性曲线等实验结论，为进一步的研究和开发耐高压电涡流位移传感器打下了基础。 有关各章内容分述如下： 第一章，在综合国内外文献的基础上，概述了位移传感器的分类及性能比较；着重介绍了电涡流传感器的发展与现状、工作原理及工业应用；在耐高压电涡流传感器的应用上，着重介绍了其在圆柱齿轮流量计上的应用。最后，针对目前电涡流传感器的发展现状，提出本论文的研究意义和研究内容。 第二章，综合了目前电涡流传感器的发展，提出了新型耐高压电涡流传感器的结构，采用等效电路、阻抗分析方法，讨论了位移传感器的基本特性。基于有限元工具软件ANSYS，在考虑导磁材料的非线性导磁特性和漏磁等因素的基础上，建立了仿真模型，评价了结构参数对静态特性的影响。 第三章，理论分析出电涡流位移传感器产生温度漂移的机理，提出采用无感线圈补偿其温漂的策略，设计试验系统(包括放大电路等)，得到不同频率下的电压-位移曲线与灵敏度曲线，以及测量特性和温度特性。 第四章，概括了全文的主要研究工作和成果，并展望了今后需进一步研究的工作和方向。