论文部分内容阅读
SnO_2作为一种广谱气敏材料,可以用来检测各种有毒、有害及各种可燃性气体,具有非常广阔的应用前景。采用溶胶—凝胶法制备纳米颗粒,具有工艺稳定、重复性好、可批量生产等优点。本文采用溶胶—凝胶法制备纳米SnO_2粉体及SnO_2薄膜。本文通过调整反应溶液浓度、PH值以及烧结温度等工艺参数,对SnO_2粉体制备工艺和薄膜制备工艺进行研究。并采用X射线衍射分析、TEM、SEM等,分别对纳米SnO_2粉体的形貌、粒径分布、晶相组成以及SnO_2薄膜的表面形貌进行表征。