【摘 要】
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能源的日益匮乏和环境问题的日趋严重极大地推动光伏产业的迅速发展，低成本和高光电转换效率是太阳能电池应用化的重要指标。高光电转换效率的太阳能电池的制备，需要做到在整个太阳光谱范围内至少在可见光及近红外光波长范围内进行有效的陷光和保持低反射率。陷光结构是提高太阳能电池光吸收及减少材料厚度进而降低成本的有效手段之一，可以在入射光全波段内实现无选择性的增透效果。为了有别于传统的化学刻蚀法，利用磁场对粒子运
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能源的日益匮乏和环境问题的日趋严重极大地推动光伏产业的迅速发展，低成本和高光电转换效率是太阳能电池应用化的重要指标。高光电转换效率的太阳能电池的制备，需要做到在整个太阳光谱范围内至少在可见光及近红外光波长范围内进行有效的陷光和保持低反射率。陷光结构是提高太阳能电池光吸收及减少材料厚度进而降低成本的有效手段之一，可以在入射光全波段内实现无选择性的增透效果。为了有别于传统的化学刻蚀法，利用磁场对粒子运动的影响，本文重点探讨磁场对薄膜生长的影响，实现对陷光结构的优化和控制。本文采用射频磁控溅射法分
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