用光传感器测量微小角位移的方法及装置的研究

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角度参数是一需要确定的重要物理量。不仅有以测量角度为目的的检测,还有为了检测的方便和可靠,将其他物理量也转换为角度来检测。角度测量的方法众多,而基于线阵CCD(电荷耦合器件)图像传感器的角度检测方法,较之传统的机械式、电磁式、光学式测量方法,实现了尺寸广泛检测的智能化与自动化。本课题正是致力于结合CCD技术,提出一种新型的角度测量原理与装置,实现一维微小角度偏转的非接触、在线检测。本文首先对线阵CCD的工作原理进行研究,然后详细介绍利用二次反射法进行小幅角位移的测
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