本论文介绍了作者在攻读硕士学位期间的研究工作，主要包括：俄歇电子能谱仪的安装和调试；EMU50高分辨能谱仪的拆装调试工作以及He的非弹性X射线散射研究工作。　　 在第一章中，主要介绍了俄歇电子能谱仪的系统设计和调试。首先介绍了俄歇过程的基本原理和俄歇能谱仪的结构分析，然后分别介绍了俄歇谱仪的供电系统设计以及探测系统和电子学系统设计，最后介绍了俄歇谱仪的电子束调试。　　 在第二章中，我们介绍了EMU50高分辨能谱仪的拆装过程以及调试工作。首先介绍了EMU50的基本工作原理和基本机构，包括电子枪、内外半球以及透镜等；然后介绍了EMU50机械拆装，重点是电子枪的拆装；最后介绍了谱仪的调试过程并给出了调试结果。　　 在第三章中，我们利用了能量分辨率为70meV的非弹性X射线散射方法给出了Hels2→lsnl(n≤6)跃迁的形状因子的平方，并将这些结果与能量损失谱的结果进行了比较，并给出了相应的解释。　　 论文的最后部分是对硕士期间从事工作的总结以及对未来进一步工作的建议和展望。