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随着MEMS向着产业化的方向发展，建立MEMS集成设计平台是实现MEMS系统、科学、规范化设计的有效手段，对于减少MEMS设计和制造过程的重复和浪费、缩短产品研发周期和提高设计与生产质量方面具有重要的意义。平台的建模和系统级设计是MEMS集成设计平台的重要组成部分，也是当前国际上MEMS研究的前沿和热点，具有重要的理论研究意义和应用价值。 本文首先以面向对象方法为指导，使用统一建模语言(UML)对基于“top-down”设计和“bottom-up”修正的MEMS集成设计平