在现代科学技术突飞猛进和区域经济一体化大背景下，海峡两岸经济合作与科技交流渐趋紧密，通过要素禀赋、比较利益优势互补，实现双赢。特别是《海峡两岸经济合作框架协议（ECFA）》及投资保障协议等的成功签署和实施，台商大陆直接投资已进入制度化、机制化发展阶段。此间台商大陆投资产业布局越来越多元化，高技术产业、服务业成为投资的重点产业。台湾高技术产业投资在台资中占有举足轻重的地位，及时洞悉其投资趋向的变化，把握重要的区位影响因素，对于承接后续台资产业转移，统筹大陆各区域协调发展具有重要的现实意义。　　在简要梳理国内外FDI区位选择文献基础上，本文对台湾高技术产业大陆投资区位选择的相关研究进行综述；进而就台湾高技术产业大陆投资的现状进行描述性分析，受中部地区崛起、西部大开发的影响，东部地区经营成本上涨，而中西部地区廉价的土地、劳动力成本优势凸显出来，投资区域由东部沿海逐步向中西部地区辐射的全方位发展格局。在此基础上，本文详细地分析台湾高技术产业大陆投资区位选择的影响因素。根据经济发展程度的不同，从样本整体、东部地区、中西部地区三个角度，运用面板数据回归模型对台湾高技术产业大陆投资区位选择影响因素进行实证研究。　　结果表明，市场因素、劳动力质量以及集聚因素是影响台湾高技术产业大陆投资区位选择的关键因素。技术因素不显著，表明台湾高技术产业仍以代工制造为主，在投资设厂时并未看重当地的研发水平。分区域来看，东部地区外贸依存度较中西部地区显著；高劳动力成本的负效应，不论是在东部还是中西部地区已经显现出来，部分高技术产业已向成本较低的周边地区转移；另外，交通密度的影响东部为负，中西部为正。最后，依据本文的研究结论，提出相关对策建议，力图为大陆各省区的招商引资与台湾高技术产业大陆区位选择提供理论支持与政策指导。