MEMS加速度计传感器作为现代微型惯性测量设备中的关键器件，以其体积小、重量轻、成本低、功耗低、与集成电路工艺兼容等优势被广泛应用在汽车、医疗、航空、军事国防等多个领域。因此，MEMS加速度计具有非常重要的研究意义和价值。本文根据加速度计的基本原理，提出了如何测试MEMS地震检波器，对MEMS电容式加速度计结构和读出电路进行了详细的阐述，分析了阻尼系数、弹性梁刚度系数理论计算模型，介绍了微小电容检测的方法，在此基础上提出了一种以开关电容放大器为基础的读出电路的具体结构，并分析了机械噪声和电路噪声。本文对测试方法及内容进行了设计研究。通过采集系统完成了数字检波器噪音、抗干扰、震动台测试及数字检波器特性的测试，研究MEMS检波器动态参数及测试方法,通过对地震勘探MEMS检波器进行动态性能分析,介绍频率范围、失真度系数、动态范围的测试方法,实际的测量结果证明了测试方法的正确性和可行性。