利用工艺尺寸链求解工序尺寸是进行产品工艺尺寸设计的重要内容，形位公差是保证零件精度的重要因素。目前对工艺尺寸链的公差分析研究主要集中在尺寸公差方面。本文以形位公差（形状公差、定向公差、定位公差、跳动公差）为研究对象，对其在三维工艺尺寸链中的处理方法进行了理论与实例研究，本研究对提高零件加工精度、实现公差优化设计具有重要意义。　　对形位公差在三维工艺尺寸链中的处理方法进行了理论研究。采用小位移旋量法，首先将形位公差带投影到x、y、z三个坐标轴上，求出形位公差带在三个方向的变化范围，将其作为相应形位公差分量的上、下偏差。这样，就可以将含有形位公差的三维尺寸链转化为x、y、z三个方向上的一维尺寸链。然后将形位公差作为工艺尺寸链中基本尺寸为零的特殊环，在极值法的基础上，建立了含有形位公差的工艺尺寸链的计算公式。　　基于小位移旋量方法，分别理论分析了形状公差（直线度、平面度、圆度、圆柱度）、定向公差（平行度、垂直度、倾斜度）、定位公差（同轴度、对称度、位置度）、跳动公差（圆跳动、全跳动）在x、y、z三个方向上的变化范围，从而可以利用极值法求解零件的工艺尺寸链。　　基于理论研究，以定位销轴和某轴承套为例，对其含有的零件形位公差在工艺尺寸链中的处理方法进行了实例研究，求解了这两个零件的工序尺寸。