硅微陀螺仪是一种新型的MEMS惯性传感器,具有体积小、可靠性高、易于数字化、功耗低等优点,其在国民经济和国防军事领域具有广阔的应用和发展前景。因此,研究硅微陀螺仪测控技术对提高陀螺仪精度具有重要意义。针对传统硅微陀螺仪测控技术采用模拟电路实现具有易受干扰、受环境影响大等缺点,本文开展基于FPGA的硅微陀螺仪数字测控电路及其关键技术研究,研究工作主要包括：第一,结合硅微陀螺仪基本结构及其工作原理,分析了其在驱动和检测两模态下动力学方程,分析了静电驱动原理,为数字测控系统的设计奠定基础。第二,建立硅微陀螺仪数字闭环驱动-闭环检测控制系统,深入研究基于锁相环控制频率和自动增益控制幅度的闭环驱动原理以及基于正交、反馈校正的闭环检测控制方案,在此基础上,分别对两模态建立Matlab/Simulink仿真模型,并验证其可行性。第三,在理论分析方案基础上,利用Verilog HD L编写程序实现数字算法,主要包括DCO、数字PI、IIR数字滤波器以及温度补偿算法,设计并实现了以FPGA和高性能ADC、DAC为核心的硬件测控电路。第四,完成各个电路模块的调试,并对所研制的硅微陀螺仪数字测控电路进行性能测试,在变温条件下对零偏和标度因数进行了温度补偿实验,相比于补偿前,硅微陀螺仪各项性能得到显著提高,验证了本文所设计的软硬件电路的正确性,为后续进一步研究和应用奠定了基础。