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本研究利用Nd-YAG 激光器(波长为1064nm, 频率为10Hz)做光源,采用纯金属锌靶,以Si(111)和石英玻璃为基体在有氧的气氛中通过激光烧蚀锌靶表面来制备氧化锌薄膜以及锌膜直接退火氧化的方法制备氧化锌薄膜。首次成功地利用1064nm 波长的激光器制备了含有很少液滴的ZnO 薄膜。通过优化激光能量密度、氧气压力和基体温度等工艺参数能成功地在Si(111)基体上制备出(002)择优取向的ZnO 薄膜,以及在低温下在石英玻璃基体上制备出单一的(002)取向的ZnO 薄膜。PL 谱的结果表明该薄膜有强的紫外光发射和弱的深水平发射。首次发现通过锌膜直接退火氧化制备的氧化锌薄膜具有单一紫光发射性能,紫光发射与ZnO 薄膜的内部缺陷有关。