本文介绍了国内外光整加工技术的发展概况，重点介绍了自上世纪七十年代以来，光整加工技术从传统加工技术到非传统加工技术的发展进程，指明了光整加工技术的发展趋势应该是朝着大幅度改善表面质量和提高生产效率，在提高精度等级的同时实现机械化、自动化、柔性化、智能化和高效化。对比了几种常用光整加工方法的加工机理，通过对比，我们可以清楚的认识到电化学机械复合光整加工的零件表面精度更高，是目前受到广泛关注和研究应用的加工工艺。电化学机械光整加工是在电化学的阳极溶解和磨粒的机械刮削共同作用的条件下进行的光整加工方法，它充分吸收和利用了电化学光整加工和机械光整加工的优势，对降低工件表面粗糙度效果较为明显，是现代精密工业生产非常常用的加工工艺。本文针对圆柱轴承滚子的电化学机械光整加工装置进行了深入研究，介绍了各光整加工的机理和工艺特点，并对加工后的工件表面质量进行了对比，表明了复合加工的优势。确定了电化学机械光整加工装置的总体方案，并对阴极头和各运动机构，以及电解液系统进行了设计，制作的夹心式阴极头，便于调节，以达到复合作用的匹配，更好地降低了轴承滚子的表面粗糙度。此外，还对加工装置的零件进行了选择与校核，以确保设备安全平稳地运行和足够的强度。