【摘 要】
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该论文从纳米科技的基本概念出发,概要地介绍了纳米科技的学科分类及其发展历程.纳米测控技术是纳米测量学的一部分,该文详细介绍了几种典型的纳米级测控系统的基本构成及其
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该论文从纳米科技的基本概念出发,概要地介绍了纳米科技的学科分类及其发展历程.纳米测控技术是纳米测量学的一部分,该文详细介绍了几种典型的纳米级测控系统的基本构成及其运行机制,在此基础上重点讨论了大功率高刚度纳米微致动测控系统的组成、原理及其环境保障系统.大功率高刚度纳米微致动器的研制成功填补了国内外在此领域的空白,在纳米技术的其它领域有着广泛的应用前景.环境保障一直是测控领域中急待解决的问题,在高精度的纳米测控中环境保障更成为影响测控结果的关键因素.该文从恒温、抗电磁干扰和抗振这三个方面详细讨论了大功率高刚度纳米微致动器系统所采用的环境保障措施,经理论推证和实践证明其性能优于一般的纳米测控系统所采用的环境保障措施,大功率高刚度纳米测控系统在此环境保障条件下运行得更加可靠、精确.
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