微波移相器是改变微波信号相位的器件,普遍应用于微波通信、相控阵雷达等领域。本文主要对微波薄膜移相器的原理做了理论研究,对微波薄膜移相器做了设计,讨论了移相器各部分的尺寸变化对器件性能的影响。根据铁氧体材料的旋磁特性设计了铁氧体薄膜移相器。铁氧体材料的磁导率显示了张量特性,当外加磁场的强度和方向变化时,铁氧体的磁导率也将会发生改变,从而改变了铁氧体的传播常数,也就改变了电磁波的传播特性,这样就产生了相移,相移的大小受到恒稳磁场的控制。薄膜材料和基片材料采用的是YIG(钇铁石榴石)和GGG(钆镓石榴石),导体材料采用的是金。分析了已有的几种薄膜移相器,对它们的原理和结构进行了研究,设计出了一种基于共面波导结构的铁氧体移相器。根据微波平面传输理论和对旋磁材料特性的分析,获得波动传输方程,计算出了移相器的各部分尺寸。对铁氧体材料、基片材料和金属导体材料进行了筛选,研究了移相器的传输特性,对移相器各部分尺寸进行了设计、仿真和优化。利用HFSS软件对共面波导结构的性能进行了模拟仿真,对移相器各部分尺寸做了优化,研究了中心导线的宽度、共面波导间隙、薄膜厚度以及电极的厚度等参数对器件性能的影响。研究结果表明:所设计的移相器在50GHz中心频率下得到了较好的性能,插入损耗小于2dB,电压驻波比小于1.5。