论文部分内容阅读
随着集成度的提高,半导体微电子器件的尺寸持续缩小,逐渐逼近其物理极限,开发新型微电子器件迫在眉睫。氧化物种类丰富,电学性质涵盖绝缘体、半导体、导体,很可能在下一代存储和逻辑器件中获得应用。钙钛矿氧化物具有多种电学、磁学特性,并且其结构相近,非常适合制备异质结构,为实现按需要调制电磁性质提供了很多的便利。共振隧穿二极管(RTD)在模拟电路和数字电路中都有应用,如可以作为高频率的微波、毫米波振荡器;可以用来做基本逻辑门、单-双稳态转换逻辑单元和其他复杂的逻辑单元。目前,大部分RTD器件是由Ⅲ-Ⅴ族半导体