随着太赫兹探测器在物体成像、无损检测、医疗诊断等领域的实用化,为保障其应用有效性和测试可信度,对太赫兹探测器的量值溯源提出了迫切需求。场效应自混频太赫兹探测器以灵敏度高与响应速度快等优点,在室温高灵敏太赫兹探测领域具有重要应用价值,为保障其测量结果的准确可靠,本文以中国计量科学研究院的太赫兹辐射计作为计量标准,研究场效应自混频太赫兹探测器标定技术。主要研究内容与创新如下:(1)研究场效应自混频太赫兹探测器标定方法。在分析现有探测器标定方法的基础上,选择标准太赫兹探测器替代法对场效应自混频太赫兹探测器进行标定,并针对标准太赫兹探测器与待测太赫兹探测器在入射光功率范围、响应速度等方面难以协调的问题,在替代法的基础上提出一种间接校准方法,较好的解决了具有较高响应的场效应自混频太赫兹探测器的量值溯源问题。(2)研制场效应自混频太赫兹探测器标定装置。其中光学模块可保证各探测器接收功率量值一致,以实现绝对响应度标定,在光路中加入监视探测器以修正光源不稳定性产生的影响;同时装置配套了位移控制模块与数据采集模块;并设计开发太赫兹光斑自动化测试模块,以对装置中的太赫兹光斑质量进行分析,优化装置以满足标定要求。(3)进行标定实验与不确定度分析。采用研制的标定装置对两个场效应自混频太赫兹探测器进行标定实验,并对标定结果的不确定度进行分析,同时在中国计量科学研究院进行比对实验验证标定结果,结果表明:两次标定结果的归一化偏差E_n≤1,满足一致性评价要求,验证了标定方法与装置的可行性与准确性。