光子器件是现代光通信系统和网络实现的核心和基础,其可靠性是其实用化的重要的性能参数,越来越受到重视。对光子器件的可靠性进行研究对国产光子器件的技术进步有着重要的理论和现实意义。光滤波器是光通信系统中的一种重要的波长选择器件。在可能导致光滤波器性能退化和失效的各种因素中,热应力的影响是一种重要的因素。光子器件受环境热应力等的影响,不仅会加速器件的老化,也会直接影响器件的性能。本文以光滤波器为研究对象,对热应力对其光学性能的影响进行研究。本文首先对热应力影响分析及光学性能分析相关理论进行了总结。在此基础上,提出了光滤波器热应力影响分析总体方案,其基于热致温度分布、热致折变和光学性能的综合分析,实现对热应力对光滤波器输出性能影响的分析。接下来,基于商用软件建立了光滤波器热应力影响分析模型：其用Ansys Multiphysics进行稳态热应力分布的求解；然后通过热光效应理论,得到热致折射率分布；再用Rsoft Photonics对光滤波器的光学性能进行仿真；最后结合热应力分析及光学性能仿真的结果给出热应力影响分析结果。利用所提出的模型,本文深入分析了给定光滤波器芯层在横向上的位置变化、导热系数变化、环境温度变化等不同热应力条件下芯片内部的温度分布规律,以及光滤波器整体受到热应力情况下的输出谱特性、功率损耗等的变化。进而建立起了热应力与光滤波器输出性能之间的关系,得到了热应力对光滤波器输出性能的影响分析结果。最后,根据光滤波器的仿真结果,提出了降低热应力影响的措施建议。